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ALICAT气体质量流量控制器

MC–气体质量流量控制器

响应气流控制,可抑制压力波动

出色的MFC只需要做好一件事:将流速保持在设定点即可。Alicat的MC系列气体质量流量控制器即使在压力峰值的情况下也能迅速达到新的设定值并保持在该位置。我们将使用您的应用程序参数来自定义阀门和PID调整,以确保其提供快速稳定的控制。

  • 多才多艺。在监控流量的同时控制压力,动态选择其他气体校准或使用COMPOSER™定义自己的气体成分。
  • 连接的。 通过以太网/ IP,EtherCAT,DeviceNet,Profibus,Modbus(RTU和TCP / IP)或串行通讯选件轻松集成到您的数字工业网络中。
  • 耐用。 MC系列流量控制器可以使液体暂时流动而不会被破坏。为了提高环境稳定性,我们可以为您的MFC提供IP66防护等级。

 

性能

  • 可用范围:*大0-5000 slpm,**0-0.5 sccm / 0-500sμlm(库存范围请参见“零件编号”标签)
  • 稳态控制范围:满量程的0.01%– **。
  • 标准精度校准,可溯源NIST:+/-(大多数产品读数的0.6%)
  • 可选的高精度校准,可追溯到NIST:+/-(大多数产品读数的0.5%)
  • 重复性:读数的+/- 0.1%+满量程的0.02%
  • 典型的控制响应时间常数:50-100毫秒(PID调整低至25毫秒)
  • 无需预热时间
 

运行条件

  • 兼容气体:98(MC)或130(MCS)预装的可选气体校准;可使用COMPOSER定义的其他混合物
  • 工作温度:-10°C至+ 60°C
  • *大内部压力(静态):145 psig(160 psia)
  • 耐压力:175 psig(190 psia)
  • STP / NTP:用户可选(默认为25°C&1 atm STP / 0°C&1 atm NTP)


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