性能
- 可用范围:*大0-5000 slpm,**0-0.5 sccm / 0-500sμlm(库存范围请参见“零件编号”标签)
- 稳态控制范围:满量程的0.01%– **。
- 标准精度校准,可溯源NIST:+/-(大多数产品读数的0.6%)
- 可选的高精度校准,可追溯到NIST:+/-(大多数产品读数的0.5%)
- 重复性:读数的+/- 0.1%+满量程的0.02%
- 典型的控制响应时间常数:50-100毫秒(PID调整低至25毫秒)
- 无需预热时间
ALICAT气体质量流量控制器
响应气流控制,可抑制压力波动
出色的MFC只需要做好一件事:将流速保持在设定点即可。Alicat的MC系列气体质量流量控制器即使在压力峰值的情况下也能迅速达到新的设定值并保持在该位置。我们将使用您的应用程序参数来自定义阀门和PID调整,以确保其提供快速稳定的控制。
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