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美国MKS INSTRUMENTS电源
美国MKS INSTRUMENTS电源、测量、控制和复杂气体相关的工艺监控技术等改进了设备的完好率和产品成品率，提高了生产产量和产品性能，美国MKS INSTRUMENTS目前产品主要包括：压力测量和控制系列的电容薄膜压力传感器、模拟和数字压力控制仪器和阀等提供半导体工艺上、下游压力控制设备；质量流量控制器测量和控制半导体工艺中各种高纯度、高精度气体流量；射频、直流及脉冲等离子电源、匹配器及测试工具为半导体工业提供了可靠的固态电源；STEXI系列产品提供诸如用于工艺腔清洁的ASTRON氟离子发生器，用于去胶工艺的R*EVOLUTION等离子源，用于CVD、ALD和清洗的SEMOZON气态和LIQUOZON液态臭氧发生器。
代表型号：621,622A,623A,627B,629B,722A,722B,631C,628,690A,626A,626B,722A,722B,901,912,910,M10B,AX7690,AX3060,AX7610,AX2500,AX2600,AX7670,AX7680,
代表型号：621,622A,623A,627B,629B,722A,722B,631C,628,690A,626A,626B,722A,722B,901,912,910,M10B,AX7690,AX3060,AX7610,AX2500,AX2600,AX7670,AX7680,
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