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  刻蚀(ET):LAM 9400、9600
  AMAT CENTURA II&I
  AMAT SEMVision G2
  离子注入(DF):VARIAN
  EATON(axcelis)
  NISSIN
  AMAT PI9500 9200
  光刻(PH):NIKON NSR
  ASML 5500
  太阳能光伏PECVD:centrotherm(管式镀膜)Roth&Rau(平板式镀膜德国)
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